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　　多聯(lián)玻璃過(guò)濾器制作采用的是硅微細(xì)加工工藝和硅深層刻蝕工藝。在設(shè)計(jì)多聯(lián)玻璃過(guò)濾器時(shí),至少有兩個(gè)問(wèn)題需要考慮:(1)過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)。傳統(tǒng)的過(guò)濾器稱(chēng)為膜,透過(guò)性和篩選性是膜的兩個(gè)重要特性[3]。如果把多聯(lián)玻璃過(guò)濾器近似看作一種濾膜,由于其孔徑大,透過(guò)性好,因此流體流速快,過(guò)濾通道不容易堵塞,但篩選性差,只能過(guò)濾比其孔徑大的微粒;(2)制作工藝。多聯(lián)玻璃過(guò)濾器的制作工藝要盡量簡(jiǎn)單,掩模版的使用以及硅 硅鍵合、高聚物鍵合的次數(shù)要盡量少[4]?；谶@些考慮,本文設(shè)計(jì)了在硅基底上刻蝕出深200μｍ的矩形槽,并在槽的底部刻蝕線(xiàn)寬10μｍ(理論設(shè)計(jì))、周期40μｍ、有效過(guò)濾面積為10ｍｍ×3ｍｍ的條狀網(wǎng)柵,形成條柵狀多聯(lián)玻璃過(guò)濾器(圖1)。加工時(shí)雙面光刻一次,不需要掩模版的堆迭,也不需要硅 硅或者硅 玻璃的鍵合,干法刻蝕則可保證狹縫的尺寸和垂直度。

　　此多聯(lián)玻璃過(guò)濾器由兩段組成,*段主要是圓筒形玻璃纖維膜壓濾芯(管狀28根)組成過(guò)濾段,濾芯安裝在有支座的管板上,管板的每個(gè)支座都有一根Ｚ形或Ｘ形的支撐桿,濾芯及其封頭通過(guò)支撐桿,用螺栓牢固地固定在管板上。再用固定架將濾芯的自由端固定起來(lái),通過(guò)拆裝固定架和螺栓,可以拆裝、清洗、更換濾芯。第二段為分離段。分離段內(nèi)安裝有由不銹鋼金屬絲網(wǎng)構(gòu)成的絲網(wǎng)墊層分離除霧、聚結(jié)裝置,過(guò)濾段與分離段之間用管板隔開(kāi),多聯(lián)玻璃過(guò)濾器下部是一個(gè)儲(chǔ)液罐,此罐與過(guò)濾、分離段相對(duì)應(yīng)地分成兩段,過(guò)濾段和分離段分離出的液體分別通過(guò)各自的降液管進(jìn)入儲(chǔ)液罐中。

　　多聯(lián)玻璃過(guò)濾器采用氣動(dòng)排污閥，反沖洗歷時(shí)短，反沖洗耗水量少，環(huán)保經(jīng)濟(jì)。易損件少，無(wú)耗材，運(yùn)行維護(hù)費(fèi)用低，操作管理簡(jiǎn)單。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊合理，占地面積小，安裝移動(dòng)靈活方便。運(yùn)行，可以根據(jù)不同水源和過(guò)濾精度靈活調(diào)整反沖洗壓差時(shí)間和時(shí)間設(shè)定值。本裝置內(nèi)襯微孔濾膜，可用于化學(xué)分析，儀器分析，衛(wèi)生檢驗(yàn)，制藥工業(yè)，生物制品和農(nóng)藥，石油，環(huán)保監(jiān)測(cè)等方面液體過(guò)濾，以監(jiān)測(cè)和除去液體中的微粒和細(xì)菌。多聯(lián)玻璃過(guò)濾器主要應(yīng)用于水相,有機(jī)相,及腐蝕性液體的過(guò)濾,用于特定污染物的分析，特別推薦用于HPLC流動(dòng)相的過(guò)濾,有一定的脫氣作用,以保證流動(dòng)相的潔凈，防止HPLC液路的堵塞.也可用于無(wú)菌試驗(yàn)，培養(yǎng)除菌過(guò)濾,熱敏性藥物的除菌過(guò)濾。

　　多聯(lián)玻璃過(guò)濾器是設(shè)置在流體系統(tǒng)中,用于過(guò)濾流體中的粒子以控制污染的一種裝置。表面過(guò)濾作用是通過(guò)固體污染物的粒子碰撞而滯留在單一平面或面上的毛孔或通路的基體上而完成的,過(guò)濾作用僅僅發(fā)生于這一表面上。表面過(guò)濾能有效地收集大于毛孔尺寸的粒子,但卻不能收集纖維和比毛孔尺寸小的粒子。深度過(guò)濾是通過(guò)固體污染物碰撞而留在連續(xù)的(或深度的)毛孔的基體上而完成的。過(guò)濾不僅在介體表面進(jìn)行,而且還在介體的整個(gè)厚度上進(jìn)行。多聯(lián)玻璃過(guò)濾器通過(guò)深度過(guò)濾能有效地收集大于zui大毛孔尺寸的粒子和纖維,同時(shí),憑借于其過(guò)濾介體的型式和厚度,它也能同樣收集一部分比zui大毛孔尺寸小的污染物。